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[20_Project] 차세대지능형반도체기술개발사업 (원천기술개발사업) 최종 선정

2020.07.29 14:15

관리자 조회 수:2167

2020. 07.

 

한국연구재단에서 수행하는 차세대지능형반도체기술개발사업(원천기술개발사업)에 본 연구실이 총괄 책임으로써 제출한 과제가 최종 선정되었습니다.

 

 

국문과제명: 저온 에피 및 재결정화 공정 기반 Si/SiGe 채널 M3D 집적 소자 및 회로 아키텍쳐 기술 개발

영문과제명: Development of M3D integration device with Si/SiGe channel and circuit architecture technology based on low temperature epitaxial growth and recrystallization process

연구기간: 2020. 7. 1 -  2023. 2. 28 (32개월)

연구비 총액: 29.7억원

총괄 책임자: 유현용

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